職務内容
【業務内容】
日本エクシードは1961年創業以来、長年にわたる研磨加工の経験の上に独自の研究開発を繰り返し、様々な単結晶素材を手掛ける技術力を高次元で実現してきました。
5超(超平滑化・超平坦化・超薄化・超無歪み化・超清浄化)の研磨加工技術で研究・開発を支援します。
■受け入れ検査
研磨前の外観検査・厚さの測定などをし、Bt編成を行う。
■貼り付け工程
ウエーハ裏面にワックスをコーティングし、研磨プレートへ貼り付ける。
■1次研磨工程
前工程(ラップ・エッチング)の加工変質層の除去を行う。
■2次3次研磨工程
2次研磨では表面粗さの向上。
3次研磨はヘイズフリー。
■洗浄工程
パーティクル・有機分子種・無機分子重金属などの汚染除去を行う。
■測定工程
平坦度などを測定する。
■検査工程
加工終了した表面の外観検査を行う。...